1.風速

a)將低溫操作臺主濾網(wǎng)或擴散板下游10 cm處的平面面積分成不少于十二個等分的面積，每個中心點作為風速測點。但每個測點的間隔不能超過25厘米；

由各個測點的風速值計算出平均風速和平均風速率。

2.懸浮物的數(shù)量。

a)吸入點(對于大于0.5 um的微粒/L)，不得少于35000粒/L；不符合適于在吸入空氣中擴散的條件；

b)中心在主濾器或整流柵出口處250 mm處進行5次連續(xù)試驗，以求平均采樣不少于1 L。

3.沉淀菌。

將含有營養(yǎng)瓊脂的j90mm培養(yǎng)皿放在工作臺操作界面上，然后用0.5 h覆蓋測點，用0.5 h覆蓋蓋，取出培養(yǎng)皿，在30~35℃條件下培養(yǎng)48 h。用肉眼計算可見菌群，取算術(shù)平均數(shù)。

4.照度

測點布置在潔凈工作臺的橫向中心線上，均勻布置三點，取算術(shù)平均數(shù)作為低溫操作臺的照度。

5.檢驗高效過濾器(PAO)。

在高效過濾器出口兩側(cè)約2.5厘米處噴射噴霧噴霧，對高效濾清器上游側(cè)的噴霧器進行掃描和巡視。檢出率≤5 cm/s。當上游側(cè)濃度比大于0.01%時，認為下游側(cè)泄漏明顯；

6.噪聲

低溫操作臺面前20厘米、高度110 cm (相當于耳位位置與耳位位置相等)的清潔工作臺噪聲測點。其他局部凈化設(shè)備的噪聲測點位于設(shè)備主面幾何中心與100 cm高150 cm處。每邊測量一面，取四點算術(shù)平均值。

7.氣流流型。

(a)垂直氣流試驗。

前窗內(nèi)側(cè)150 mm高300 mm的煙塵，其位置是從一邊壁板移動到另一側(cè)壁板操作區(qū)域，清潔工作臺下部垂直向下下降的氣流，不存在向上氣流。

前窗內(nèi)部工作區(qū)深1/2，高達300 mm的煙塵從一邊壁板移到另一側(cè)的工作區(qū)域，清潔工作臺的垂直下降氣流在均流板下方呈下降狀，無向上流動。

當距作業(yè)區(qū)150 mm高300 mm處，煙幕從一面壁板移到另一面壁板操作區(qū)域時，清潔臺面下方的垂直下降氣流在均流板下方出現(xiàn)下降，沒有向上流動。

橫向氣流試驗。

前窗內(nèi)部操作區(qū)深度1/2，高達300 mm的煙塵從一邊壁板移到另一側(cè)的壁板操作區(qū)域，低溫操作臺的水平氣流在散流孔前方呈外向型，沒有向內(nèi)氣流。